微导纳米将发布PVD新品补齐三大薄膜沉积路线产品布局
AI 摘要微导纳米（688147）将于展会期间发布iMagtron PVD系列两款新品，并推出基于iTomic MeT设备的Ru ALD新工艺。此举标志该公司补齐PVD板块，完成ALD、CVD、PVD三大薄膜沉积路线产品布局。
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东方财富 · 上市公司动态媒体转述关注度55 · 一般数据55 · 一般数据 微导纳米拟向特定对象发行股票募资不超49.44亿元
AI 摘要微导纳米（688147）10月12日晚间公告，拟向特定对象发行A股股票，募集资金总额不超过49.44亿元。募资拟用于尖端薄膜沉积技术研发中心项目（32.25亿元）、无锡先进半导体设备产业化升级迭代项目（7.29亿元）、华中先进半导体设备产业化项目（2.89亿元）及补充流动资金（7亿元）。
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东方财富 · 上市公司动态媒体转述精选关注度62 · 一般数据62 · 一般数据 微导纳米(688147)拟定增募资不超49.44亿元，投向先进半导体设备项目
AI 摘要微导纳米(688147)公告拟向特定对象发行A股股票，募集资金总额不超过49.44亿元。其中尖端薄膜沉积技术研发中心项目拟投入32.25亿元，无锡先进半导体设备产业化升级迭代项目拟投入7.29亿元，华中先进半导体设备产业化项目拟投入2.89亿元，剩余7亿元用于补充流动资金。公司称2025年半导体设备收入8.81亿元，同比增长169.12%，截至2026年6月半导体设备在手订单规模达26.98亿元。
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