微导纳米将发布PVD新品补齐三大薄膜沉积路线产品布局

微导纳米（688147）将于展会期间发布iMagtron PVD系列两款新品，并推出基于iTomic MeT设备的Ru ALD新工艺。此举标志该公司补齐PVD板块，完成ALD、CVD、PVD三大薄膜沉积路线产品布局。