微导纳米拟募资不超49.44亿元，投向半导体设备产业化及薄膜沉积研发等项目

微导纳米10月12日盘后披露定增预案，拟募集资金总额不超过49.44亿元，扣除发行费用后的净额拟投向无锡先进半导体设备产业化升级迭代项目、华中先进半导体设备产业化项目、尖端薄膜沉积技术研发中心项目及补充流动资金项目。公司称本次发行将完善先进薄膜沉积设备研发验证、生产制造、测试及数字化运营条件，提升多品类产品并行生产与规模化交付能力。截至2026年6月，公司半导体设备在手订单为26.98亿元。