至纯科技28纳米节点设备开发已全部完成

至纯科技（603690.SH）日前回复投资者称，公司半导体制程设备聚焦晶圆制造前道工艺，目前28纳米节点设备开发已全部完成。全工艺机台均有订单，在更先进制程节点也已取得部分工艺订单。