湾芯展国产半导体设备集中亮相，中微公司、华海清科等推介高端新品

10月16日湾芯展上，一批国产半导体设备、材料及工具新品集中亮相。中微公司推介两款高端微观加工设备，华海清科发布中束流离子注入机，微导纳米推出iMagtron系列磁控溅射系统及Ru超薄膜工艺专用ALD设备，实现三大主流薄膜沉积技术路线全体系覆盖。