拓荆科技发布非晶碳薄膜沉积技术Flowable Carbon

拓荆科技（688072）在2026湾芯展上发布非晶碳薄膜沉积技术Flowable Carbon，该技术已应用于NF-300M Supra-H设备。该系列通过前驱体选择和工艺控制，实现了Capi-Carbon和Sedi-Carbon两种填充性能不同的可流动碳膜工艺。目前拓荆科技已围绕上述技术与3D-NAND、DRAM及逻辑芯片制造企业展开合作。