华海清科发布中束流离子注入机IHQ-900E，称整机国产化率95.6%

华海清科（688120）在2026湾芯展暨半导体产业发展峰会上发布中束流离子注入机IHQ-900E，据介绍该产品为国产首台性能超越国外竞品的中束流离子注入机，在剂量均匀性、角度、Dose Rate、beam Current及WPH等部分关键指标上领先国外竞品。该机搭载华海清科自研软件平台，整机国产化率95.6%，预计2027年实现全部国产化。