微导纳米发布iMagtron系列磁控溅射系统和iTomic MeT系列原子层沉积系统Ru工艺

微导纳米在2026湾芯展开幕式上发布新产品及新工艺。新产品为iMagtron系列磁控溅射系统设备，具备整体尺寸更紧凑、采用模块化设计且PK LifeTime优化50%以上等优点。新工艺为iTomic MeT系列原子层沉积系统Ru工艺，通过原子级形核调控技术在多种衬底上实现<5nm连续Ru薄膜成膜，关键指标达到量产参考水平。