上观：中国极紫外光源样机国产化率达90%，距量产还需3-5年

据上观报道，第二十六届中国国际工业博览会上，朗道燧岩展出一台极紫外（EUV）光源系统样机，现场工作人员称该样机国产化率达90%，绝大多数核心零部件为自主研发，可用于芯片曝光测试。报道称该样机是目前公开展示中进度最靠前的国产EUV光源样机，距离量产还需3-5年。