拓荆科技发布非晶碳薄膜沉积技术Flowable Carbon

拓荆科技在2026湾芯展发布非晶碳薄膜沉积技术Flowable Carbon，该技术已应用于NF-300M Supra-H设备。该系列通过前驱体选择和工艺条件控制，稳定实现Capi-Carbon和Sedi-Carbon两种可流动碳膜工艺。拓荆科技正围绕上述技术与3D-NAND、DRAM及逻辑芯片制造企业展开合作。