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上海朗道矽力科技公开EUV光源原型,称国产化率90%、功率15W

China's 90%-localized EUV light source debuts at 15W, exposing the gap to commercial chipmaking

AI 导读

据DIGITIMES报道,中国半导体技术初创公司朗道矽力科技(上海)公开了一款极紫外(EUV)光源原型,声称国产化率达90%,被视为中国推进本土光刻技术的一项进展。报道同时指出该原型功率为15W,与商业化芯片制造所需水平存在差距。

来源:DIGITIMES 电子时报 · digitimes.com

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