中微公司董事长尹志尧：要全面赶超国际先进水平

中微公司董事长兼总经理尹志尧在第26届中国国际工业博览会上表示，未来二十年半导体设备发展模式要从追赶走向自主创新，目标是在技术与综合性能上全面赶超国际先进水平。中微公司累计开发出54种高端半导体设备，截至2026年6月底，累计超过8800个反应台在国内外220余条生产线实现量产。此外，中微公司与华虹集团签署战略合作协议，其自主研发的Primo UD-RIE®电容耦合等离子体刻蚀设备获得两项大奖。