湾芯展国产半导体设备发力高端化，中微公司、华海清科等推新品

湾芯展上国产半导体设备持续向高端领域突破。中微公司（688012）推介两款高端微观加工设备，华海清科（688120）发布中束流离子注入机，微导纳米（688147）推出iMagtron系列磁控溅射系统及Ru超薄膜工艺专用ALD设备，实现三大主流薄膜沉积技术路线全体系覆盖。